φ1300真空成膜装置 RMC-1300

摘要

AR成膜的光学镀膜设备

详细

作为对应树脂基板的成膜装置,排气系统采用了低温泵的机型。可根据蒸发源(电子枪、电阻加热)及基板架尺寸生产各种尺寸装置。