摘要

ＡＲ成膜的光学镀膜设备

详细

作为对应玻璃基板的装置，搭载了基板加热器及冷冻设备的机型。可根据蒸发源（电子枪、电阻加热）及基板架尺寸生产各种尺寸装置。