φ1100真空成膜装置 RMC-1100

摘要

AR成膜的光学镀膜设备

详细

作为对应玻璃基板的装置,搭载了基板加热器及冷冻设备的机型。可根据蒸发源(电子枪、电阻加热)及基板架尺寸生产各种尺寸装置。