特殊真空巻取式スパッタ装置 RVS-FWS

製品概要

真空中でフィルムを搬送するROLL TO ROLL方式でフィルムにコーティングをする装置。

スペック例

排気システム

油回転ポンプ+拡散ポンプ

巻取システム

張力フィードバック制御+速度制御

排気速度

2×10-3Paまで30分以内

到達圧力

1×10-4Pa以下

ターゲット

3基

前処理

加熱ヒータ 3Kw

冷却ロール

-10℃~60℃

フィルム速度

0.2~50m/min

フィルム幅

500mm

詳細

真空薄膜コーテイングで高機能フィルムの実験用装置。
排気システム、蒸発源、フィルム速度、フィルムサイズなどご要望により各種対応しております。