製品概要

ARコーテイング等の光学薄膜蒸着装置

スペック例

排気システム

油回転ポンプ＋ブースタポンプ＋クライオポンプ

巻取システム

光学式モニタ＋水晶式モニタ＋自動蒸着コンピュータ

排気速度

2×10-3Paまで15分以内

到達圧力

1×10-4Pa以下

電子銃

10Kw

抵抗加熱

8Kw

ドーム回転

3～15rpm

詳細

樹脂材料向け蒸着装置として排気システムにクライオポンプを搭載したモデルです。
蒸発源（電子銃、抵抗加熱）及び基板ドームサイズはご要望により各種対応しております。