Φ1100真空蒸着装置 RMC-1100 製品概要 スペック例 排気システム 巻取システム 排気速度 到達圧力 ターゲット 前処理 冷却ロール フィルム速度 フィルム幅 フィルム長 電子銃 基板加熱 抵抗加熱 ドーム回転 主要装備 詳細