真空巻取装置 RVC-W

製品概要

真空中でフィルムを搬送するROLL TO ROLL方式でフィルムにコーティングをする装置。

スペック例

排気システム

油回転ポンプ+ターボ分子ポンプ

巻取システム

張力フィードバック制御+速度制御

排気速度

5×10-3Paまで15分以内

到達圧力

7×10-4Pa以下

フィルム速度

0.5~10,/min

フィルム幅

10mm

詳細

実験用装置として成膜源のないモデルです。
ご要望により各種コンポーネットの組み合わせが可能です。