真空巻取式スパッタ装置 RVS-FW

製品概要

真空中でフィルムを搬送するROLL TO ROLL方式でフィルムにコーティングをする装置。

スペック例

排気システム

油回転ポンプ+拡散ポンプ+ポリコールドチラー+調圧バルブ

巻取システム

張力フィードバック制御+速度制御

排気速度

2×10-3Paまで16分以内

到達圧力

1×10-4Pa以下

ターゲット

3基

前処理

加熱ヒータ 3Kw

冷却ロール

-10℃~60℃

フィルム速度

0.5~10m/min

フィルム幅

700mm

フィルム長

300mm

詳細

真空薄膜コーテイングで高機能フィルムの生産用装置。
排気システム、蒸発源、フィルム搬送速度、フィルム幅、加熱ヒータなどご要望により各種対応しております。