真空巻取式スパッタ装置 RVS-FW 製品概要 スペック例 排気システム 巻取システム 排気速度 到達圧力 ターゲット 前処理 冷却ロール フィルム速度 フィルム幅 フィルム長 電子銃 基板加熱 抵抗加熱 ドーム回転 主要装備 詳細